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多项选择题
离子溅射泵的特点是什么（）？
A.无机械运动部分
B.无振动
C.无需再生
D.无噪音 -
多项选择题
属于高真空泵的是哪一种（）？
A.分子泵
B.扩散泵
C.油回转泵
D.低温泵 -
多项选择题
油扩散泵的缺点是什么（）？
A.噪音大
B.需要水冷挡板
C.启动停止需要时间
D.存在油污染
