问答题
简答题
光掩膜法的基本原理是什么？该工艺具有哪些特点？
【参考答案】
原理：采用光学掩膜技术，电子成像系统先在一块特殊玻璃上通过曝光和高压充电过程产生与截面形状一致的静电潜像，并吸附上碳粉形......
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