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单项选择题

大家常说的SiC晶圆隐切、LED晶圆划片,属于以下什么工艺()

    A.ICICLES加工工艺
    B.激光内部改质加工工艺
    C.激光烧蚀加工工艺
    D.热应力切割加工工艺

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