多项选择题
关于湿法刻蚀和干法刻蚀，下列哪种说法正确？（）
A.湿法比干法的选择性好
B.干法比湿法的保真度好
C.干法比湿法的图形分辨率低
D.湿法比干法的设备更复杂
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单项选择题
原子力显微镜属于（）显微技术，其工作模式包括（）。
A.扫描电子，接触模式和非接触模式
B.扫描探针，轻敲模式
C.扫描探针，恒高度模式和恒电流模式 -
多项选择题
扫描隧道电子显微镜具有（）工作模式。
A.背散射
B.恒高度
C.恒电压
D.恒电流 -
单项选择题
透射电子显微镜和扫描电子显微镜是利用（）作为照明源。
A.紫外线
B.可见光
C.聚焦电子束
D.X射线
