问答题
简答题
简述层间清洗的作用。
【参考答案】
背沟道阻挡结构中第一层的SiOx绝缘膜制作完成后加了一道清洗。两层绝缘膜之间加的这次清洗称为层间清洗，作用是为减少针孔。
点击查看答案
相关考题
-
问答题
述5次光刻中第5次像素电极光刻形成的ITO的作用。 -
问答题
简述沟道切断的作用。 -
问答题
简述4次光刻的工艺流程。
