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判断题
利用化学气相沉积法制备Si纳米薄膜只能通过热分解反应制得。 -
多项选择题
制备好的溶胶可通过（）方法实现成膜。
A.浸渍提拉法
B.旋覆法
C.喷涂法
D.等离子体法 -
单项选择题
磁控溅射与二级溅射相比的特点是（）
A.结构简单
B.镀膜速率慢
C.基片温度低、损伤小
D.靶材利用率高
