问答题
简答题
给出使用初级泵和真空泵的理由。
【参考答案】
当真空里的压强减低时，气体分子间的空间加大了，这成为气体流过系统及在工艺腔内产生等离子体的重要因素。而初级泵可以去除腔内......
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