多项选择题
关于ALD下列那种说法正确（）
A.只能生长单组份纳米膜
B.生成膜有良好的台阶覆盖特性
C.可以精确控制膜厚到原子尺度
D.是通过控制前驱体的剂（流）量来精确控制膜厚的
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碳纳米管手性分为锯齿型，（），其他空间螺旋型。 -
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流动油面冷凝法说法正确的是（）
A.可以是纯物理方法
B.是液相制备方法
C.是气相制备方法
D.是固相制备方法 -
多项选择题
下列哪些方法属于液相方法（）
A.球磨法
B.沉淀法
C.溶胶凝胶法
D.水热法
