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全部科目 > 通信电子计算机技能考试 > 半导体芯片制造工 > 半导体制造技术

问答题

简答题

STI隔离技术中,为什么采用干法离子刻蚀形成槽?

    【参考答案】

    采用干法刻蚀,是为了保证深宽比。

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