问答题
简答题
采用LPCVD TEOS淀积的是什么膜？这层膜的优点是什么？
【参考答案】
多晶硅薄膜 (↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
用TEOS（正硅酸乙酯）-臭氧方法淀积SiO2 Si（C......
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