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多项选择题
传感器按照被测量分类可以分为（）
A、物理量传感器
B、化学量传感器
C、气体量传感器
D、生理量传感器 -
多项选择题
智能传感器包括（）
A、传感器
B、信号调制电路
C、微处理器
D、输出接口 -
多项选择题
组成MEMS的部件有（）
A、微传感器
B、微执行器
C、信号处理和控制电路
D、电源
