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多项选择题
氮化硅制备方法有（）。
A.硅粉直接氮化法
B.碳热还原二氧化硅法
C.自蔓燃法
D.高温气相反应法
E.等离子体气相反应法 -
单项选择题
硅料国标中1级料对碳含量的要求为（）atoms/cm3
A.≤2.5×1016
B.≤2.5×1017
C.≤4.0×1016
D.≤4.0×1017 -
多项选择题
在运行过程中有（）五个步骤。
A.加热
B.溶解
C.长晶
D.退火
E.冷却
