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多项选择题
磁体的性能指标包括（）
A.磁场强度
B.磁场均匀性
C.磁场稳定性
D.有效孔径
E.边缘场的空间范围 -
多项选择题
CMP200发生器操作时，会有相关信息显示，包括（）。
A.状态信息
B.限制信息
C.故障信息
D.用电安全提示 -
多项选择题
CMP200发生器有（）工作状态。
A.待机
B.曝光准备
C.曝光准备好
D.曝光
