填空题
本征扩散是指：（），其扩散系数D＝（）， 其扩散活化能由（）和（）组成。
【参考答案】
由晶体内本身的热缺陷引起质点迁移的扩散,D＝D0exp(-Q/RT)，空位形成能，空位迁移能。
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