单项选择题
硅料国标中1级料对氧含量的要求为（）atoms/cm3。
A.≤1.0×1016
B.≤1.0×10117
C.≤1.5×1016
D.≤1.5×1017
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单项选择题
坩埚喷涂使用的是（）。
A.氮化硅悬浮液
B.液态氮化硅
C.SiC溶液
D.液态SiC -
单项选择题
加热跳转到熔化的条件是（）。
A.TC1=1170℃
B.TC1=1175℃
C.TC2=1170℃
D.TC2=1175℃ -
单项选择题
Ar流量误差最大报警值是（）。
A.10%
B.15%
C.12%
D.20%
