多项选择题
腐蚀前的来料检查,正确的说法是:()
A.腐前必须先抽腐500片到1000片晶片,然后送外观检验,合格后方可腐蚀,玻璃条否全部挑出
B.抽测晶片来料频率,并在腐前电子档里记录频率数据
C.晶片表面干净与否将直接影响晶片腐蚀后的外观
D.测试腐蚀前频率是为了准确的计算腐蚀时间并检查频散情况
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多项选择题
腐蚀前需确认的生产条件有:()
A.腐蚀机是否正常、腐蚀篮是否损坏
B.腐蚀机温度是否在68±2℃C.腐蚀机内腐蚀液是否饱和
D.腐蚀液面是否有漂浮物质
E.排气系统是否正常
F.检查超声波腐蚀篮、脱水机、烧杯是否干净
G.更换氟化氢铵溶液 -
多项选择题
腐蚀前确认生产任务的内容有:()
A.检查随工单内容是否清晰
B.待腐蚀的片数量、标识、频率是否与随工单是否一致
C.工艺流程是否正确
D.排气系统是否正常 -
单项选择题
腐蚀后待清洗时,每个清洗筐内的晶片上限尺寸3225及以下数量为()
A.≤12000片
B.≤6000片
C.≤6000片
D.≤10000片
