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多项选择题
RF 电源适用的设备是（）。
A.CVD
B.EtChing
C.Ashing
D.Cleaning -
多项选择题
RF电源故障解析：同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常（）？
A.放电不稳定
B.匹配不稳定
C.Pr 残存
D.成膜慢
