问答题
简答题
给出投影掩模板的定义。投影掩模板和光掩模板的区别是什么？
【参考答案】
投影掩膜版是一种透明的平板，在它上面有要转印到硅片上光刻胶层的图形。
投影掩膜版只包括硅片上一部分图形，而光掩膜......
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