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单项选择题
不属于金属表面现象的是()
A.扩散
B.润湿
C.吸附
D.钝化
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填空题
磁控溅射采用了()电磁场,将()运动束缚在靶面附近,提高了气体的()效率,克服了电子使基片()的缺点。
填空题
直流溅射只能沉积()膜,而不能沉积()膜,原因在于靶面的()电荷无法中和。()溅射可以克服直流溅射的局限,可以沉积任何固体薄膜,其使用的电源频率为()MHz.
填空题
溅射镀膜时的本底真空度约为()Pa, 分子束外延镀膜的本底真空度约为()Pa.
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