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判断题
离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。
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判断题
离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。
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离子束加工和电子束加工类似，主要是利用高速运动的离子撞击工件表面转换成热能来蚀除金属。
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