填空题
直流溅射只能沉积（）膜，而不能沉积（）膜，原因在于靶面的（）电荷无法中和。（）溅射可以克服直流溅射的局限，可以沉积任何固体薄膜，其使用的电源频率为（）MHz.
【参考答案】
金属；介质；离子；射频；13.56
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填空题
金属；介质；离子；射频；13.56
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