问答题
简答题
简述离子束加工的概念和特点？
【参考答案】
离子束加工的原理与电子束加工类似，也是在真空条件下，将氩、氪、氙等惰性气体，通过离子源产生离子束经过加速、集束、聚焦后，......
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