问答题
简述7次光刻的第二次光刻中O2灰化的作用。
O2灰化是在4层CVD之后阻挡层i/sSiNx膜的上面进行氧气O2......(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
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问答题 简述层间清洗的作用。
问答题 述5次光刻中第5次像素电极光刻形成的ITO的作用。
问答题 简述沟道切断的作用。
