多项选择题
下列哪些是进行光刻前的预处理的步骤？（）
A.脱水烘烤B.旋转涂布法涂HMDSC.气拍涂底法涂HDMSD.软烘
多项选择题 根据曝光模式，光制机的种类分为（）。
多项选择题 刻蚀的过程中，对刻蚀的要求是（）
多项选择题 以下属于刻蚀环节质量要求的是（）
