填空题 纯水又叫去离子水，即除去（）、（）和（）等杂质的水。

填空题 目前单晶硅生产中主要采用（）和（）制取高纯水。

填空题 加热器是根据直拉单晶炉的（）和所拉制单晶的（）等条件确定的，一般设计成（）电路形式。