判断题 由于加工时的金属蒸汽会影响电子和离子发射，产生不稳定现象，所以在加工过程中，需要利用真空吸力，不断地把所产生的金属蒸汽抽出去。

判断题 只有在较高的真空条件中，电子和离子才能高速运动。

判断题 离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。