单项选择题
X射线光刻技术与传统光刻技术相比，是通过（）的手段来提高分辨率的。
A.减小波长B.增加数值孔径C.减小与系统有关的常数值
判断题 利用化学气相沉积法制备Si纳米薄膜只能通过热分解反应制得。
多项选择题 制备好的溶胶可通过（）方法实现成膜。
单项选择题 磁控溅射与二级溅射相比的特点是（）
