填空题 直拉单晶炉电气部分的（），控制整个直拉单晶炉安全正常运转，真空测量和加热功率的变化。

填空题 直拉单晶炉电气部分的配电盘是整个直拉单晶炉的（），通过它把电流输送给控制柜。

填空题 直拉单晶炉的电极一般由（）制成，两层形成环状，内部通水。