问答题
解释光刻胶选择比。要求的比例是高还是低?
光刻胶选择比是指显影液与曝光的光刻胶反应的速度快慢,选择比越高,反应速度越快,所以要比例高。
问答题 解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么?
问答题 给出投影掩模板的定义。投影掩模板和光掩模板的区别是什么?
问答题 光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处?