问答题

【参考答案】

优点是:1)利用自对准技术减少了光刻次数,可以降低成本;
2)能够有效避免栅源和栅漏的交叠面积,提高对准精度,......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)