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直拉单晶硅工艺学

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填空题

热场主要受()系统影响,该系统变化热场一定变化。

【参考答案】

热

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填空题 单晶硅是在热场中进行拉制的,热场的优劣对()有很大影响。

填空题 单晶炉的热场系统中()是晶体生长时的实际热场,它是在()的基础上补充变化而来。

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