问答题
名词解释:CVD、LPCVD、PECVD、VPE、BPSG。(将这些名词翻译成中文并做出解释)。
问答题 例举高k介质和低k介质在集成电路工艺中的作用。
问答题 描述CVD反应中的8个步骤。
问答题 例举淀积的5种主要技术。