单项选择题 高压汞灯作为紫外光源被使用有常规i线步进光刻机上，那么i线的UV光波长为（）

单项选择题 坚膜烘焙在加热平板上进行，温度控制在（）。

单项选择题 在显影过程中，对于正性抗蚀剂，显影液的使用要求是（）。