问答题
简述TFT制作中的各种薄膜采用的成膜方法。
栅电极、源漏电极的金属材料：Al、MoW、AlNd/Mo、AlNd/MoNx、Mo/Al/Mo等采......
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问答题 简述干法刻蚀的物理作用和化学作用。
问答题 简述PE和RIE设备的不同点。
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