问答题
二氧化硅薄膜在集成电路中具有怎样的应用？
①器件保护（避免划伤和污染），因sio2致密；②表面钝化（饱和悬挂键，降低界面态；需一......
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问答题 STI隔离技术中，为什么采用干法离子刻蚀形成槽？
问答题 描述金属复合层中用到的材料？
问答题 为什么晶体管栅结构的形成是非常关键的工艺？更小的栅长会引发什么问题？
