问答题
立式炉系统的五部分是什么？例举并简单描述。
工艺腔、硅片传输系统、气体分配系统、尾气系统、温控系统。工艺腔是对硅片加热的场所，由垂直的石英罩钟、多区加热电......
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问答题 热生长SiO2 – Si系统中的电荷有哪些？
问答题 影响氧化速度的因素有哪些？
问答题 描述热氧化过程。
