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直拉单晶硅工艺学

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填空题

由于熔体由加热器周围供热,所以一般说来熔体的()总是正数。

【参考答案】

径向温度梯度

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填空题 热场的径向温度梯度,包括晶体径向温度梯度,熔体径向温度梯度和()三种径向温度梯度。

填空题 单晶硅生长时,熔体纵向温度梯度较小时,可能会生成(),凝结在()处,使硅单晶发生(),导致晶体生长不稳定。

填空题 生长界面处的()是晶体、熔体、环境三者的传热、放热、散热综合影响的结果,在一定程度上决定着单晶质量。

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