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直拉单晶硅工艺学

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填空题

一般情况下,直拉法拉制的硅单晶电阻率大于()欧姆•厘米,质量很难控制。

【参考答案】

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填空题 用直拉法制备硅单晶时,用()插入熔体表面,待与熔体熔接完成后,慢慢向上提拉完成长晶过程。

填空题 用直拉法制备硅单晶时,把()放入(),在硅单晶炉内进行熔化。

填空题 ()也叫切克劳斯基(Czochralsik)方法,此法早在1917年由切克斯基建立的一种晶体生长方法,后来经过很多人的改进,成为现在制备单晶硅的主要方法。

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