单项选择题
在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中，各向异性效果比较（）
A.等离子体刻蚀>离子铣>RIEB.离子铣>等离子体刻蚀>RIEC.离子铣>RIE>等离子体刻蚀D.RIE>离子铣>等离子体刻蚀
多项选择题 异质外延制备单晶纳米膜，可采用下列哪种工艺方法（）
多项选择题 关于ALD下列那种说法正确（）
填空题 碳纳米管手性分为锯齿型，（），其他空间螺旋型。
