问答题
解释什么是暗场掩模板?
暗场掩膜版是指一个掩膜版,它的石英版上大部分被铬覆盖,并且不透光。
问答题 解释正性光刻和负性光刻的区别?为什么正胶是普遍使用的光刻胶?最常用的正胶是指哪些胶?
问答题 描述化学机械平坦化工艺。
问答题 例举双大马士革金属化过程的10个步骤。