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多项选择题
金属薄膜制备中常见的溅射方式有（）
A.直流溅射
B.射频溅射
C.磁控溅射
D.准直溅射 -
多项选择题
铝的电迁移可能导致的结果是（）
A.阳极短路
B.阳极断路
C.阴极短路
D.阴极断路 -
多项选择题
影响显影工艺的因素有（）。
A.曝光度
B.显影液浓度
C.显影方法
D.工序的温度和时间容量
