问答题
简答题
简述PE和RIE设备的不同点。
【参考答案】
PE刻蚀和RIE刻蚀在设备结构上的不同，使得两者的刻蚀特性不同。PE设备的上电极与电容耦合器及RF电源相连，而基板在下电......
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