问答题
简答题
简述干法刻蚀的物理作用和化学作用。
【参考答案】
物理作用的刻蚀类似于溅射成膜的原理，利用惰性气体的辉光放电产生带正电的离子，在电场作用下加速吸引到下电极上面的基板上，轰......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
相关考题
-
问答题
简述PE和RIE设备的不同点。 -
问答题
简述PECVD设备的特点。 -
问答题
简述PECVD薄膜沉积的原理。
