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判断题
离子束曝光，即用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。
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判断题
由于加工时的金属蒸汽会影响电子和离子发射，产生不稳定现象，所以在加工过程中，需要利用真空吸力，不断地把所产生的金属蒸汽抽出去。
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只有在较高的真空条件中，电子和离子才能高速运动。
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离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。
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