问答题
简答题
例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。
【参考答案】
连续喷雾显影、旋覆浸没显影。
显影温度，显影时间，显影液量，硅片洗盘，当量浓度，清洗，排风。
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