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判断题
156型开方后产生20块硅块，20块边料。 -
判断题
硅料国标中有对表面金属含量要求。 -
多项选择题
氮化硅制备方法有（）。
A.硅粉直接氮化法
B.碳热还原二氧化硅法
C.自蔓燃法
D.高温气相反应法
E.等离子体气相反应法
