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单项选择题
硅料国标中1级料对氧含量的要求为()atoms/cm3。
A.≤1.0×1016
B..≤1.0×1017
C.≤1.5×1016
D.≤1.5×1017 -
单项选择题
硅料国标中1级料对氧含量的要求为()atoms/cm3。
A.≤1.0×1016
B.≤1.0×10117
C.≤1.5×1016
D.≤1.5×1017 -
单项选择题
坩埚喷涂使用的是()。
A.氮化硅悬浮液
B.液态氮化硅
C.SiC溶液
D.液态SiC
