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单项选择题

对三氯氢硅中痕量杂质的分析采用蒸发法使用微量高纯水和SiHCL3作用产生少量()水解物,对痕量杂质元素有吸附作用。

    A.HCL
    B.SiH
    C.SiO2
    D.Si

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