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判断题
以紫外压印法制备纳米图形，可采用金属模板。 -
单项选择题
在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中，各向异性效果比较（）
A.等离子体刻蚀>离子铣>RIE
B.离子铣>等离子体刻蚀>RIE
C.离子铣>RIE>等离子体刻蚀
D.RIE>离子铣>等离子体刻蚀 -
多项选择题
异质外延制备单晶纳米膜，可采用下列哪种工艺方法（）
A.磁控溅射
B.电子束蒸镀
C.CBE
D.MBE
