单项选择题
在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中，各向异性效果比较（）
A.等离子体刻蚀>离子铣>RIE
B.离子铣>等离子体刻蚀>RIE
C.离子铣>RIE>等离子体刻蚀
D.RIE>离子铣>等离子体刻蚀
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A.磁控溅射
B.电子束蒸镀
C.CBE
D.MBE -
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关于ALD下列那种说法正确（）
A.只能生长单组份纳米膜
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D.是通过控制前驱体的剂（流）量来精确控制膜厚的 -
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